微导纳米申请用于管道的缓存气包装置及原子层沉积设备专利，专利技术能实现气体的有效储存和排列组合

　　金融界2024年2月3日消息，据国家知识产权局公告，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“用于管道的缓存气包装置及原子层沉积设备“，KB体育官方平台公开号CN117488278A，申请日期为2023年12月。

　　专利摘要显示，本申请涉及半导体制造工艺设备技术领域，公开一种用于管道的缓存气包装置，包括：气包本体，两端设置有第一接口和第二接口；第一阀门，与所述第一接口通过第一管路固定连接；第二阀门，与所述第二接口通过第二管路固定连接，且所述第一管路和所述第二管路平行设置；在所述气包本体的内部形成有分别与所述一接口和第二接口连通的储气内腔，其中，所述储气内腔的形状与所述气包本体的形状根据多个预设形状以排列组合的方式形成。本申请还公开一种原子层沉积设备。KB体育官方平台